品牌:远荣智能/佳视德
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功能特点
1. 产品表面段差、高度、宽度、平面度等测量
2. 2D轮廓&3D微观表面形貌分析
3. 2D&3D粗糙度、波纹度、轮廓度测量
4. 多层透明件&半透明件膜厚测量
5. 可配合产线定制非标自动化检测方案
技术参数
1. XY测量范围：100mm x 100mm
2. Z轴测量范围： 4mm (可选配50nm~24mm)
3. 光斑直径：8um (小可达2um以下)
4. XY轴分辨率：50nm
5. XY轴重复性：0.5um
6. Z轴线性度：0.01%F.S (量程范围内 )
7. Z轴分辨率：0.13um (可选配小为14nm)
8. XY轴大扫描速度：100mm/s
9. 可测试样品漫反射大倾角为87度
10. 任何材质产品均可稳定测量，尤其适合玻璃产品
